(U.S.) Joint Electron Device Engineering Council Soild State Technology Association
сфера применения
Тонкая диэлектрическая целостность МОП-устройств и схем является важной проблемой надежности. Исторически надежность тонких оксидов определялась дефектами оксидов. В целом срок службы собственного оксида намного превышает требования к использованию, но дефекты могут значительно сократить срок службы оксида. Описанные здесь процедуры были разработаны для оценки целостности тонкого оксида и в качестве инструмента для постоянного улучшения процесса тонкого оксида.