В настоящем документе указаны термины и определения, основные параметры, общие требования, технические требования, методы испытаний, правила контроля, маркировки, упаковки, транспортирования и хранения вакуумных насосов в пан-полупроводниковой промышленности. Этот документ распространяется на производство и проверку вакуумных насосов в полупроводниковой промышленности.
T/QGCML 3233-2024 История
2024T/QGCML 3233-2024 Технические требования к вакуумным насосам для полупроводниковой промышленности