ВВЕДЕНИЕ На протяжении более двух десятилетий устойчивость интегральных схем (ИС) к электростатическим разрядам (ESD) определялась двумя значениями: надежностью модели человеческого тела (HBM) при 2000 В и надежности модели заряженного устройства (CDM) 500 В. Предполагалось, что оба этих уровня надежности обеспечат безопасный запас для обращения с ИС во время обработки@сборки@и тестирования. Обе ценности ??исторические?? значения и были общепринятыми@, за некоторыми исключениями, касающимися более высоких значений для конкретных приложений. Быстрое масштабирование технологий и растущие требования к высокоскоростным интерфейсам с очень низкой емкостью выводов затрудняют достижение исторических целевых уровней электростатического разряда. Неясно, оправданы ли исторические целевые уровни «реальными»? Угрозы электростатического разряда на предприятиях по производству и тестированию электронной продукции. В зависимости от контроля электростатического разряда@ целевые уровни могут быть слишком высокими@, что приведет к чрезмерному проектированию или ограничениям производительности и@, как следствие@, к дополнительным затратам. Можно утверждать, что при хорошо реализованном процессе статического контроля в соответствии с международными стандартами, такими как ANSI/ESD S20.20 [1] или IEC 61340-5-1 [2] @, устойчивость HBM в 2 @ 000 вольт превышает максимально возможную. начисление нагрузки на персонал более чем на порядок и@ поэтому@ надежность БМБ может снизиться. Кроме того, во многих случаях во время обработки@ сборки и тестирования@ нельзя было избежать зарядки устройств, и во многих процессах напряжение зарядки 500 В может быть легко превышено - возникает вопрос, действительно ли надежность CDM в 500 В гарантирует безопасное обращение. Принимая во внимание сегодня широко практикуемые меры контроля ЭСР и конструктивные ограничения ЭСР, Отраслевой совет по целям ЭСР предлагает снизить целевой показатель устойчивости HBM с 2 @ 000 вольт до 1 @ 000 вольт [3] и снизить устойчивость CDM. цель от 500 вольт до 250 вольт [4]. Очевидно, что будущие технологические узлы и высокоскоростные приложения потребуют дальнейшего снижения надежности HBM и CDM. С уменьшением устойчивости ИС к ЭСР @ меры по контролю ЭСР при обращении с ИС становятся все более важными, и потребуются детальные оценки процесса. На многих этапах процесса можно легко оценить основные принципы мер контроля электростатического разряда. Например@, этапы процесса, на которых устройства обрабатываются вручную, требуют наличия заземленного персонала; заземление можно проверить с помощью тестеров ESD в сочетании с контролем доступа. Однако в автоматизированных средствах оценка заряда и возможных путей разряда может оказаться сложной задачей. Сегодня@ не существует стандартов, которые определяют шаги, необходимые для оценки процесса (этапа) или для окончательного ответа на вопрос о том, можно ли безопасно обращаться с ИС с известной устойчивостью к электростатическому разряду. Рабочая группа ESDA 17.0 начала работу над «стандартом»? документ, определяющий необходимые шаги. В качестве первого шага рабочая группа (РГ) решила объединить последние публикации членов РГ в один технический отчет (ТР). Цель ТР – дать читателю примеры «лучшей практики»? методологий оценки процессов и методов испытаний. Эти статьи (или части статей) на момент публикации считались современными. Они включены в этот документ с минимальными изменениями. Хотя за прошедшие годы некоторые особенности могли измениться, подходы к оценке риска и снижению риска остаются актуальными. После краткого введения в Разделе 2.0, посвященного моделям угроз ЭУР@ и реальным сценариям@, в Разделе 3.0 описаны четыре различных подхода к оценке процессов. Эти примеры охватывают широкий спектр возможных угроз на этапах процесса и приводят примеры соответствующих методологий измерения. В разделе 4.0 обобщаются методы испытаний и работа органов по стандартизации. В заключение ТР приводится краткое изложение, включающее возможные блок-схемы для оценки процессов и методологий измерения, а также обзор следующих шагов в рамках рабочей группы по стандартизации ESDA.