| Содержание старой версии | Содержание новой версии | Объяснение изменений |
|---|---|---|
| Область применения ограничена чистыми помещениями | Охватывает чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды | Область применения стандарта была расширена |
| Загрязняющие вещества не классифицированы подробно | Уровни чистоты воздуха (ACC) разделены в соответствии с концентрациями химических веществ | Добавлены методы классификации загрязнений |
В чистых помещениях загрязняющие вещества в основном попадают из:
В новом стандарте рекомендуется использовать ионную хроматографию (IC) и масс-спектрометрию с индуктивно связанной плазмой (ICP-MS) для обнаружения загрязняющих веществ с целью обеспечения точности и надежности данных.

© 2025. Все права защищены.