21/30440431 DC БС ЕН МЭК 63068-4. Полупроводниковые приборы. Критерии неразрушающего распознавания дефектов гомоэпитаксиальных пластин карбида кремния для силовых устройств. Часть 4. Порядок выявления и оценки дефектов комбинированным методом оптического контроля и...