GB/T 43661-2024
Химический анализ поверхности. Сканирующая зондовая микроскопия. Определение и калибровка пространственного разрешения электросканирующей зондовой микроскопии (ESPM, например SSRM и SCM) для таких приложений, как двумерная визуализация легирующих примесей. (Англоязычная версия)