Цветные фильтры являются одними из самых основных компонентов жидкокристаллических дисплеев (ЖКД), а процесс их изготовления включает в себя множество физических и химических показателей эффективности. Разработка GB/T 43793.1—2024 направлена на обеспечение унифицированных методов испытаний цветных фоторезистов для плоских дисплеев, гарантирующих качество продукции и стабильность процесса.
Этот стандарт, предложенный и управляемый Национальным техническим комитетом по стандартизации полупроводникового оборудования и материалов, применяется к производству, контролю качества и НИОКР цветных фоторезистов.
| Название показателя | Принцип испытания | Метод испытания | Ключевое оборудование |
|---|---|---|---|
| Содержание твердых веществ | Высушите образец при указанной температуре и определите массовый процент оставшейся части. | Электронные весы, печь с циркуляцией горячего воздуха, чашка Петри и т. д. | Электронные весы (чувствительность не менее 1 мг), печь с циркуляцией горячего воздуха (температурная погрешность не более ±2°C). |
| Вязкость | Определите динамическую вязкость образца на основе напряжения сдвига и скорости сдвига. | Ротационный вискозиметр, водяная баня постоянной температуры и т. д. | Диапазон измерения: от 1 мПа·с до 10⁵ мПа·с, воспроизводимость: ±5%. |
| Остаточная скорость образования пленки после выпекания | Измерьте процентное изменение толщины пленки в процессе нанесения покрытия, экспонирования, проявления и выпекания. | Ступенчатый профилометр, печь с циркуляцией горячего воздуха, стеклянная подложка и т. д. | Диапазон вертикальных измерений: от 5 нм до 250 000 нм с разрешением не менее 1 нм. |
Рекомендация 1: В условиях реального производства испытания следует проводить в строгом соответствии с условиями окружающей среды, указанными в стандарте (температура 23℃±2℃, относительная влажность 30%~70%), чтобы гарантировать точность данных.
Рекомендация 2: Для таких ключевых показателей, как содержание твердых веществ, вязкость и скорость образования остаточной пленки после сушки, рекомендуется установить регулярный механизм калибровки, чтобы гарантировать точность и надежность приборов и оборудования.
Рекомендация 3: Для цветных фоторезистивных материалов, поставляемых разными поставщиками, можно сформулировать единую систему оценки качества со ссылкой на методы испытаний, изложенные в стандарте.

© 2025. Все права защищены.