Стандарт DIN EN ISO 14571:2023 заменяет версию стандарта 2005 года, включив технологию измерения микросопротивления в систему ISO. Этот стандарт, разработанный совместно ISO/TC 107 и CEN/TC 262, стандартизирует применение четырёхзондовых измерительных приборов для испытания металлических покрытий на неметаллических подложках на всей территории ЕС.
| Элементы | Технические требования | Коэффициент влияния |
|---|---|---|
| Расстояние между зондами (S) | Должно соответствовать t/S<0,5 | Определяет диапазон глубины измерения |
| Сила тока (I) | Режим постоянного тока | Требование по точности ±1% |
| Измерение напряжения (V) | Внутреннее падение напряжения зонда | Разрешение 0,1 мкВ |
Согласно Формулаt = (π/ln²)·(ρ·V/I·S). Специальная калибровка требуется, если толщина покрытия t меньше 300 нм.
Для медных покрытий (ρ=1,68×10-8Ом·м) температурный коэффициент α=0,0039/K приведет к погрешности измерения толщины 3,9% при температуре от 25 до 35 °C. Для этого требуется встроенный датчик температуры для автоматической коррекции.
| Изменения | DIN EN 14571:2005 | DIN EN ISO 14571:2023 |
|---|---|---|
| Система стандартов | Только стандарт EN | Двойная нумерация ISO/EN |
| Формула критической ширины | Не определено | Новое Приложение A: Метод определения |
| Влияние температуры | Краткое описание пояснение | Количественные требования (контроль ±2℃) |

© 2025. Все права защищены.