Раздел данного стандарта описывает методы измерения динамических характеристик микромеханических систем (ММС), чувствительных к электрическому полю, используемых в качестве резонаторов. Этот документ предназначен для инженеров и исследователей, занимающихся разработкой, производством и тестированием таких устройств. Он涵盖了测试方法、设备要求以及如何评估这些微机电系统的性能。该标准为确保此类器件的可靠性和一致性提供了重要的指导。
*** Обратите внимание: это описание может быть неточным, обратитесь к официальной документации.