IEC TS 62607-6-4:2024 Нанопроизводство. Ключевые характеристики контроля. Часть 6-4. Материалы на основе графена. Поверхностная проводимость: бесконтактный метод микроволнового резонансного резонатора.
В данной части IEC 62607 устанавливается стандартизированный метод определения поверхностной проводимости, ключевого контрольного свойства тонких пленок графена и материалов на основе графена, бесконтактным методом с использованием микроволнового резонатора. Этот метод измеряет площадь поверхности образца путем отслеживания сдвига резонансной частоты микроволн и изменения добротности резонатора при помещении образца в резонатор микроволн. Метод применим к графеновым материалам, синтезированным на металлических подложках методом химического осаждения из паровой фазы (CVD), графеновым материалам, эпитаксиально выращенным на карбиде кремния (SiC), графеновым материалам, полученным из восстановленного оксида графена (rGO), или графеновым материалам, механически отслоенным от графита. Это измерение не зависит явно от толщины наноуглеродного слоя.
IEC TS 62607-6-4:2024 История
2024IEC/TS 62607-6-4:2024 Нанопроизводство - Основные характеристики управления - Часть 6-4: Графен - Измерения проводимости с использованием резонансной полости
2016IEC TS 62607-6-4:2016 Нанопроизводство. Ключевые характеристики управления. Часть 6-4. Графен. Измерение поверхностной проводимости с использованием резонансного резонатора.