| Элемент | Показатель |
|---|---|
| Чистота карбонилсульфида (COS) (мольная доля)/10- | ≥99,995 |
| Содержание водорода (H2) (мольная доля)/10- | <1 |
| Содержание (кислород + аргон) (O2 + Ar) (мольная доля)/10-6 | <5 |
| Содержание азота (N2) (молярная доля)/10-6 | <20 |
| Содержание оксида углерода (CO) (молярная доля)/10-6 Содержание диоксида углерода (CO2) (молярная доля)/10 | <3 |
| Содержание метана (CH4) (молярная доля)/10-6 | <10 |
GB/T 43773-2024 «Карбонилсульфид для «Электронное применение» в основном применимо к карбонилсульфиду для электронного применения, полученному путем синтеза оксида углерода и серы в качестве сырья. Стандарт устанавливает следующие основные технические требования: 1. Требования к чистоте. Карбонилсульфид (COS) должен иметь чрезвычайно высокую чистоту ≥99,995 (молярная доля). Это строгие требования к чистоте для электронных газов, обеспечивающие его применение в таких областях, как производство полупроводников.
Стандарт устанавливает строгие предельные требования для различных примесей:
Общее содержание примесей рассчитывается по формуле (1):
$$x_{11}=x_{1}+x_{2}+x_{3}+x_{4}+x_{5}+x_{6}+x_{7}+x_{8}+x_{9}+x_{10}$$Где от $\boldsymbol{\mathcal{X}}_{1}$ до $\boldsymbol{\mathcal{X}}_{10}$ представляют собой содержание (молярную долю) различных примесей, $10^{-6}$.
Изделия должны проверяться по одному. Они считаются квалифицированными, когда все показатели соответствуют требованиям Таблицы 1. Если какой-либо показатель не соответствует требованиям, они считаются неквалифицированными.
Стандарт определяет различные методы испытаний, включая:
Метод ввода режущей части, указанный в GB/T 28726, использовался в сочетании со следующими хроматографическими колонками:
Метод, указанный в GB/T 28726, использовался со следующими хроматографическими колонками:
К изделию должен быть приложен сертификат о качестве, в котором должны быть указаны:
Газовые баллоны должны соответствовать положениям GB/T5099 или GB/T 33145. Максимальный объем заполнения рассчитывается по формуле (3):
$$ m=F_{\mathrm{~r~}}\times V $$Где $F_r = 0,84~\mathrm{кг/л}$, $V$ — объем (л), указанный на баллоне.
Карбонилсульфид — бесцветный, легковоспламеняющийся и токсичный газ. Его пределы взрываемости составляют $6,5\%\sim28,5\% (объемная доля)$. Строго соблюдайте правила техники безопасности.

© 2025. Все права защищены.