KS D ISO 14706-2003(2023) Химический анализ поверхности - определение элементарных примесей на поверхности кремниевой пластины с помощью рентгенофлуоресцентного анализатора полного отражения
2003KS D ISO 14706:2003 Химический анализ поверхности – определение поверхностного элементарного загрязнения кремниевых пластин методом рентгеновской флуоресцентной спектроскопии полного отражения (TXRF).