SEMI F60-0306 (Reapproved 0611)
МЕТОД ИСПЫТАНИЙ ДЛЯ ОЦЕНКИ ESCA СОСТАВА СМАЧИВАЕМЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПАССИВИРОВАННЫХ КОМПОНЕНТОВ ИЗ НЕРЖАВЕЮЩЕЙ СТАЛИ 316L
- Стандартный №
- SEMI F60-0306 (Reapproved 0611)
- Разместил
- Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI)
