DIN 50452-2 E:2008 Проект документа. Испытание материалов для полупроводниковой техники. Метод испытаний для анализа частиц в жидкостях. Часть 2. Определение частиц с помощью оптических счетчиков частиц.
2009DIN 50452-2:2009-10 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Метод испытаний для анализа частиц в жидкостях. Часть 2. Определение частиц с помощью оптических счетчиков частиц.
2009DIN 50452-2:2009 Испытание материалов для полупроводниковой техники. Метод испытаний для анализа частиц в жидкостях. Часть 2. Определение частиц с помощью оптических счетчиков частиц.
1991DIN 50452-2:1991 Испытание материалов для полупроводниковой техники; метод испытаний для анализа частиц в жидкостях; определение частиц с помощью оптических счетчиков частиц