23/30454370 DC
БС ЕН МЭК 62047-46. Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства - Часть 46. Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Метод измерения прочности наноразмерной мембраны

Стандартный №

23/30454370 DC

Дата публикации

2023

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

23/30454370 DC

23/30454370 DC История

• 0000 23/30454370 DC